广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵 维修进口真空泵

当停泵后，碳氧化合物返流很快通过泵进入直空室内，如果系统仍保持在直空状态下，碳气化合物将会粘在清洁的叶片和直空室的表面上，在随后再运转该系统时，将极难抽除粘着的碳氧化合物，另一方面，在涡轮分子泵停止运转时，如果给泵充入干燥氙气或干燥空气，刚该干燥气体将给暴露的表面提供一层气体保护层，而且在系统充气后，返流的碳氧化合物由于与充入的气体混合起来，从而它的粘着能力很弱，在混合气体中碳氧化合物所占比例*小，在下一次抽空时也很快就能被抽走。

一般导致真空泵无法正常启动的原因

1、驱动电机电压不正确或过载。维修进口真空泵

解决办法：提供电机正确的电压。

2、电机启动器过载保护太小或设定值太低。

解决办法：将电机启动器过载保护的设定数据与电机铭牌的数据相对照，必要时，请校正。如果环境温度较高：可将设定值根据正常电机电流提高5%。

3、保险丝熔断。

解决办法：检查保险丝。维修进口真空泵

在何处充气

在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氧化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。另一方面，若在涡轮分子泵吸入侧充气，能达到以清洁气体荡盖表面的目的。并使气流流向涡轮分子泵(自上而下)，能暂时阻止、延迟碳氢化合物的返流，也有些涡轮分子泵在压缩级之间进行中间充气，它和在吸入侧充气控制碳气化合物返流几乎同样有效。在超高真空系统中，在压缩级充气尤其*越。因为中间充气不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。维修进口真空泵

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵 阿尔卡特真空泵维护

罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵，分子增压泵有极高的压缩比，这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能，同时在中真空范围也有超*的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前唯yi兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。阿尔卡特真空泵维护

分子增压泵可以在100-50Pa工作，前级泵从大气到这一压力，基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律，因此机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。阿尔卡特真空泵维护

对于较大型的高真空应用设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，所以前级泵的使用时间也很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用，而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。阿尔卡特真空泵维护

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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵  磁悬浮涡轮分子泵维修

含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备，在集成电路刻蚀等工艺过程中，部分工艺气体容易冷却凝结，附着在分子泵转子及内壁，造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞，影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度，降低工艺气体凝结，提高分子泵稳定性及寿命。   磁悬浮涡轮分子泵维修

我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击，它会从电子层脱出。结 果，带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修

分子泵的工作区间是有限制的，*大启动压强也要在100pa，直接大气启动只会长期处于过载状态运行，并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修

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